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坤化氢AsH?废气处理——半导体制程尾气处理设备

2020-12-08 10:59:22    责任编辑: 尾气处理设备制造厂商     0

随着制程技术不断演进,使得相关供应系统等级及质量日趋精密且复杂,其废气问题也越发凸显,如毒性气体、化学药品等所产生的废气,便是造成环境恶化的来源之一,因此,如何处理此类高纯度且大量的毒性物质之排放,是尾气处理设备和废气治理的重要工作与任务。

尾气处理设备

坤化氢AsH?,也称砷烷,是一种无色剧毒气体,常用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 


坤化氢对人体的危害性:

砷化氢是强烈的溶血性毒物,砷化氢中毒程度与吸入砷化氢的浓度密切相关,潜伏期愈短则临床表现愈严重。轻度中毒有头晕、头痛、乏力、恶心、呕吐等症状;重度中毒发病急剧,有高热、昏迷、抽搐、急性肾功能衰竭及全身重度黄疸等症状;对心、肝、肺等也有直接的毒害作用。 

对于坤化氢AsH?的废气处理可采用吸附式尾气处理设备,有吸附效率好、无高耗能需求、无尘室不产生火源等特点;同时设备各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,全面监控;确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害。


综上,如坤化氢AsH?此类物质的高纯度废气排放会对环境和周边人员的生命安全造成很大的影响,所以,在排放前应经尾气处理设备进行处理后方可排放。关于坤化氢AsH?废气尾气处理设备的先容就到这了,感谢您的阅读!

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