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从CVD制程工艺用气角度来具体分析一下特气柜的功能

2020-11-03 10:56:08    责任编辑: 特气柜设计制造企业     0

在半导体行业中,SiNx薄膜材料常作为集成电路最后的钝化保护层。一般通过CVD(化学气相沉积)制成,其中一种常用气态原材料就是硅烷(SiH4),大家今天就以硅烷(SiH4)为例,从安全使用角度来具体分析一下特气柜的设计功能体现在哪些方面?有何作用?


从特气使用的角度说明特气柜的功能:


硅烷(SiH4)是一种在常温常压下具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆炸性燃烧的剧毒性特种气体。


1.  硅烷气体钢瓶安装或更换前,沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)的基本功能:自动吹扫,能排除气体管道中的气体杂质,保证气体纯度;排除气体管道中残余的危险性气体,保证人员安全。


2.  实验生产有时需要长时间的气体供应,沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)的基本功能:自动切换,搭配内部的PLC程序,可实现硅烷的高纯度和连续稳定供应,保障实验或生产的正常进行。


3.  硅烷(SiH4)与空气会自燃,沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)柜内可配备气体泄露侦测器、火焰探测器等,报警侦测警报功能齐全,并在柜门关闭情况下,特气柜内部都处于负压状态,可第一时间发现泄漏并阻止泄漏气体扩散,及时报警处理,避免更大事故的发生,确保了正常生产和员工人身安全。


最后,沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)拥有SEMI S2认证,SEMI S2(Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment)是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准,代表了半导体厂家的基本安全要求。



以上,就是以硅烷为例,从CVD制程工艺用气的安全使用角度来看特气柜的功能设计,感谢您的阅读,更多气体应用资讯,尽在沃飞!


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