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含氟废气处理——制程掺杂工艺废气尾气处理设备Scrubber

含氟废气处理——制程掺杂工艺废气尾气处理设备Scrubber

发布时间:2020-12-04
随着半导体行业突飞猛进的发展,人们对在半导体制造业中产生的大量有腐蚀性有毒易自燃危害环境的气体处理和尾气处理设备(Local Scrubber)提出了更高的要求。在半导体器件和集成电路制造中,将某些杂质掺入半导体材料内,使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,以制造电阻、PN结、埋层等的工序被称为掺杂工艺。掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体,是一种混合气,主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。含氟化合物废气的危害性含氟化合物的废气尾气,需经尾气处理设备处理后方可排出,否则会对周边人员和环境造成很大的危害。如氟化氢(HF)有强烈的刺激和腐蚀作用,可通过呼吸道粘膜、皮肤和肠道吸取,对人体全身产生毒性作用。氟能和人本骨骼和血液中的钙结合,从而导致氟骨病。长期暴露在低浓度的氢氟酸蒸气中,可引起牙齿酸蚀症,使牙齿粗糙无光泽,易患牙龈炎。当空气中HF浓度为0.03-0.06mg/m3时,儿童牙斑釉患病率明显增高。HF的慢性中毒可造成鼻粘膜溃疡、鼻中隔穿孔等,还可引起肺纤维化。高浓度的HF能引起支气管炎和肺炎。吸附式尾气处理设备吸附式尾气处理设备(Local Scrubber)几乎能处理所以小流量的废气,是半导体厂常用的尾气处理设备,吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,且能实现自动控制。以上,就是关于半导体制程中掺杂工艺中含氟化合物的废气如果未经处理排放对人体和环境危害性和尾气处理设备(Local Scrubber)的简单先容,感谢您的阅读!
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